沈陽半導(dǎo)體工廠凈化車間廢氣方案

  關(guān)鍵詞：凈化車間廢氣，半導(dǎo)體廢氣凈化

  半導(dǎo)體在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣需要處理，但是他們對(duì)廢氣處理設(shè)備和廢氣處理工程的專業(yè)性要求都非常的嚴(yán)格，經(jīng)過多方比較，靜電冷凝分離器采用相同的原理，可以攔截和清除廢氣流中的揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）。

  半導(dǎo)體行業(yè)使用了全氟化碳，它具有極高的全球暖化潛勢(shì)，因此需要進(jìn)行高效的廢氣處理。將不同的氣體結(jié)合并輸送到工廠的中央廢氣系統(tǒng)中，可能會(huì)產(chǎn)生具有高易燃性與高爆炸性的氣態(tài)混合物，有時(shí)，這在過去會(huì)導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)設(shè)施的完全報(bào)廢。在氣體內(nèi)包含的顆粒物還可能會(huì)造成排氣裝置堵塞。

  為了消除這些風(fēng)險(xiǎn)，需要在立即減少有害廢氣的“使用點(diǎn)”（POU）對(duì)工藝過程廢氣進(jìn)行處理。可以由燃燒/水洗系統(tǒng)、氣體洗滌器和靜電過濾器成功做到這一點(diǎn)。